光學(xué)蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)的各項(xiàng)特點(diǎn)
發(fā)布日期:2022-04-09
光學(xué)蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)在生活中被廣泛運(yùn)用,蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)原理是利用膜材加熱裝置的熱能在真空條件下使膜材原子靠熱運(yùn)動(dòng)而逸出膜材表面,并沉積到基片表面上的一種沉積技術(shù)。 光學(xué)蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)-清洗方法 真空工藝進(jìn)行前應(yīng)清洗真空材料,從工件或系統(tǒng)材料表面清除污染物;車燈鍍膜機(jī)零部件的表面清洗處理也是很有必要的,因?yàn)橛晌廴疚锼斐傻臍怏w、蒸氣源不僅會(huì)使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在,同時(shí)也會(huì)影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”,多弧離子鍍膜機(jī)根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體,它們以膜或散粒形式存在。就其化學(xué)特征來看,它可以處于離子態(tài)或共價(jià)態(tài),可以是無機(jī)物或有機(jī)物。暴露在空氣中的表面易受到污染,污染的來源有多種,初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過程、機(jī)械處理以及擴(kuò)散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。比較常見的真空材料表面上的污染物具體有以下幾種類型。 ①油脂:加工、裝配、操作時(shí)沾染上的潤(rùn)滑劑、切削液、真空油脂等; ②水基類:操作時(shí)的手汗、吹氣時(shí)的水汽、唾液等; ③表面氧化物:材料長(zhǎng)期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物; ④酸、堿、鹽類物質(zhì):清洗時(shí)的殘余物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等; ⑤拋光殘?jiān)碍h(huán)境空氣中的塵埃和其它有機(jī)物等。 清洗后的表面根據(jù)要求分為原子級(jí)清潔表面和工藝技術(shù)上的清潔表面兩類。前期到位的清洗工作可以減少很多麻煩,避免濺控濺射鍍膜機(jī)很多小問題的發(fā)生,對(duì)工作效率、真空鍍膜機(jī)鍍膜質(zhì)量都具有非常積極的作。可大大提高真空系統(tǒng)中所有器壁和其它組件表面在各工作條件下的工作穩(wěn)定性。這些工作條件包括:高溫、低溫、以及電子、離子、光子或重粒子的發(fā)射和轟擊。
真空鍍膜機(jī)設(shè)備
光學(xué)蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)-加熱特點(diǎn) 光學(xué)蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)內(nèi)存在著蒸發(fā)源,是用來加熱靶材的,具體可以通過電阻式加熱、感應(yīng)加熱、電子束加熱、雷射加熱、電弧加熱這幾個(gè)方面進(jìn)行。其中電阻方式是用得多的,因?yàn)槠涔ぷ髟硎呛?jiǎn)單,通過電流使電阻升溫來使靶材加熱,容易操作,相應(yīng)的設(shè)備構(gòu)造不復(fù)雜,價(jià)格便宜。感應(yīng)方式就是高頻感應(yīng)加熱,通過高頻電流感應(yīng).使靶材自身產(chǎn)生電流從而加熱蒸發(fā),這種方式效率高,速度快,由于是自己產(chǎn)生熱量,所以大一點(diǎn)的靶材也可以很快的加熱。電子束方式是對(duì)電子槍加以高壓電流,產(chǎn)生電子束使蒸發(fā)源加熱,這是一種可以產(chǎn)生極高溫度的方式,達(dá)到3千攝氏度都沒問題。 雷射方式運(yùn)用的是激光束,通過光學(xué)聚集,射在蒸發(fā)源上加熱,與電子束區(qū)別在于激光束是以微細(xì)顆粒脫離,電子束是以分子脫離,雷射加熱蒸鍍的膜層品質(zhì)更好。電弧方式運(yùn)用的是弧光放電的方式加熱,即使基板不加熱也可以鍍出很好的膜層,對(duì)于那些熔點(diǎn)高的金屬或化合物也可以蒸鍍,不會(huì)像電阻加熱那樣產(chǎn)生污染。 以上這五種真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)加熱方式各有各的優(yōu)點(diǎn),可以按照客戶不同的需求來相應(yīng)進(jìn)行配置。 光學(xué)蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)-優(yōu)勢(shì)特點(diǎn) 在真空下進(jìn)行的蒸發(fā)操作。真空蒸發(fā)可以降低溶液沸點(diǎn),故具有以下優(yōu)點(diǎn): ①可處理高溫下易分解的熱敏性物料,如牛奶、果汁、蜂蜜和抗生素等。 ②增大傳熱推動(dòng)力,提高蒸發(fā)器單位傳熱面積的蒸發(fā)量。 ③可利用低溫?zé)嵩?,降低能耗。多效蒸發(fā)裝置中的后幾效都是在真空下操作的。然而,溶液降溫會(huì)使粘度增大,導(dǎo)致傳熱系數(shù)減小。